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無氯合成石英
FNCL

材料簡介

Introduction

1 無氯 寬圖1 拷貝 - 502-402.jpg

FNCL合成石英采用有機(jī)硅的環(huán)保工藝制造產(chǎn)品
不含氯、無氣泡、具有超高純度
是目前半導(dǎo)體應(yīng)用中最清潔的材料之一,
其優(yōu)異的透過率耐輻照性能成為紫外波段應(yīng)用的理想材料。


Made by organic silicon with environmental protection process, FNCL synthetic quartz material is one of the cleanest material in semiconductor applications due to its characteristics of chorine free, no bubble and high purity. It is the ideal material for ultraviolet applications for its excellent transmittance and radiation resistance.

透過率

Transmittance spectral curve

曲線1  - 500 拷貝.jpg

外部透過率

曲線2  - 500 拷貝.jpg

輻照后透過率變化


性能指標(biāo)

Critical indicators

關(guān)鍵指標(biāo)

金屬雜質(zhì)含量

氯含量

羥基含量

溫升

激光損傷閾值(體損傷,355nm)

量熱法弱吸收

<0.1 ppm

< 1 ppm

800-1000 ppm

3℃ (8000W , 1200Hz , 150s)

16.033 J/cm2

0.3%-0.5% ( 193nm )

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